1、設備概況

1.1應用領域：單片晶圓甩干機是高潔凈度甩干設備, 具有高速甩干，快速烘干，效***的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設備，體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低，快速應用生產等優(yōu)點。

1.2名稱：單片清洗甩干機

1.3型號：QSG-300

2、主要結構特征

單片清洗甩干機主要伺服電機，PLC控制器，人機界面，高潔凈閥門，PFA管，氮氣加熱器，防腐蝕外殼，以及甩干頭等部分組成。

2.1材質：進口PP板，能夠滿足潔凈室工作環(huán)境。

2.2專用伺服電機，可實現(xiàn)每分鐘10-5000轉，低速均勻清洗，高速離心甩干。

2.3工業(yè)PLC控制器和人機界面，穩(wěn)定可靠控制各個部件，直觀可視化操作模式。。

2.4甩干頭詳情 可根據(jù)客戶需要定制適用不同規(guī)格尺寸的甩干頭

3、主要技術參數(shù)