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產(chǎn)品中心

晶圓單片清洗機(jī),單片清洗機(jī)甩干機(jī),晶圓單片洗片機(jī),濕法單片清洗機(jī)

1、設(shè)備概況1.1應(yīng)用領(lǐng)域:單片清洗甩干機(jī)是高潔凈度清洗甩干設(shè)備, 具有高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換甩干頭來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低,快速應(yīng)用生產(chǎn)等優(yōu)點。1.2名稱:單片清洗甩干機(jī)1.3型號:QSG-150/2002、主要結(jié)構(gòu)特征單片清洗甩干機(jī)主要伺服電機(jī),PL

1、設(shè)備概況

1.1應(yīng)用領(lǐng)域:單片清洗甩干機(jī)是高潔凈度清洗甩干設(shè)備, 具有高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換甩干頭來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低,快速應(yīng)用生產(chǎn)等優(yōu)點。

1.2名稱:單片清洗甩干機(jī)

1.3型號:QSG-150/200

2、主要結(jié)構(gòu)特征

單片清洗甩干機(jī)主要伺服電機(jī)PLC控制器,人機(jī)界面,高潔凈閥門,PFA管,氮氣加熱器,防腐蝕外殼,以及甩干頭部分組成。

2.1材質(zhì):進(jìn)口PP板,能夠滿足潔凈室工作環(huán)境。

2.2專用伺服電機(jī),可實現(xiàn)每分鐘10-5000轉(zhuǎn),低速均勻清洗,高速離心甩干。

2.3工業(yè)PLC控制器和人機(jī)界面,穩(wěn)定可靠控制各個部件,直觀可視化操作模式。。

2.4甩干頭詳情 可根據(jù)客戶需要定制適用不同規(guī)格尺寸的甩干頭

3、主要技術(shù)參數(shù)

項目

主要性能指標(biāo)和參數(shù)

加工硅片尺寸

2-8 英寸圓片

單次甩干數(shù)量

1

位數(shù)量(個)

1

旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN

10-5000

清洗噴嘴類型

扇形/錐形/直管

清洗甩干時間

2-5min

氮氣壓力

0.15Mpa,氮氣管接口6mm

純水壓力

0.15Mpa, 管接口6mm

排水管

12mm卡套接頭

顯示/控制系統(tǒng)

7寸觸摸屏/PLC可編程控制器

電源

220V

整機(jī)功率

1KW

外型尺寸(深*寬*高)mm

360mm*寬330mm*高500mm

 

 

4、產(chǎn)品外觀

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