1、設(shè)備概況
1.1應(yīng)用領(lǐng)域:單片清洗甩干機(jī)是高潔凈度清洗甩干設(shè)備, 具有高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換甩干頭來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低,快速應(yīng)用生產(chǎn)等優(yōu)點。
1.2名稱:單片清洗甩干機(jī)
1.3型號:QSG-150/200
2、主要結(jié)構(gòu)特征
單片清洗甩干機(jī)主要伺服電機(jī),PLC控制器,人機(jī)界面,高潔凈閥門,PFA管,氮氣加熱器,防腐蝕外殼,以及甩干頭等部分組成。
2.1材質(zhì):進(jìn)口PP板,能夠滿足潔凈室工作環(huán)境。
2.2專用伺服電機(jī),可實現(xiàn)每分鐘10-5000轉(zhuǎn),低速均勻清洗,高速離心甩干。
2.3工業(yè)PLC控制器和人機(jī)界面,穩(wěn)定可靠控制各個部件,直觀可視化操作模式。。
2.4甩干頭詳情 可根據(jù)客戶需要定制適用不同規(guī)格尺寸的甩干頭
3、主要技術(shù)參數(shù)
項目 | 主要性能指標(biāo)和參數(shù) |
加工硅片尺寸 | 2-8 英寸圓片 |
單次甩干數(shù)量 | 1片 |
工位數(shù)量(個) | 1 |
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN | 10-5000 |
清洗噴嘴類型 | 扇形/錐形/直管 |
清洗甩干時間 | 2-5min |
氮氣壓力 | 0.15Mpa,氮氣管接口6mm |
純水壓力 | 0.15Mpa, 管接口6mm |
排水管 | 12mm卡套接頭 |
顯示/控制系統(tǒng) | 7寸觸摸屏/PLC可編程控制器 |
電源 | 220V |
整機(jī)功率 | 1KW |
外型尺寸(深*寬*高)mm | 長360mm*寬330mm*高500mm |
4、產(chǎn)品外觀