一、設(shè)備概況
1.1應(yīng)用領(lǐng)域：晶圓甩干機(jī)是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過快速更換轉(zhuǎn)子來實(shí)現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，設(shè)備本身有單腔室和雙腔室兩種結(jié)構(gòu)，體型小運(yùn)行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
1.2名稱：雙腔室甩干機(jī)
1.3型號(hào)：SemiTool 870S
二、主要技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 主要性能指標(biāo)和參數(shù) |
加工硅片尺寸 | 2-6 英寸圓片 |
單次甩干數(shù)量 | 50片 |
工位數(shù)量（個(gè)） | 2 |
顆粒增加值 | 客戶要求 |
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN | 200-2200 |
甩干時(shí)間 | 5-8min |
腔室及氮?dú)饧訜岱绞?/span> | 電加熱器 |
氮?dú)鈮毫?/span> | 0.25-0.3Mpa，氮?dú)夤芙涌?/span>3/8” |
氮?dú)夂牧?/span> L/min | 80 |
純水壓力 | 0.25-0.3Mpa， 管接口3/8” |
排水管 | 40mm圓管 PVC管 |
控制系統(tǒng) | 三菱PLC可編程控制器 |
顯示 | 4.3寸觸摸屏 |
電源 | AC220V |
整機(jī)功率 | 5 KW |
外型尺寸（深*寬*高）mm | 710mm*460mm*1850mm |