一、設(shè)備概況1.1應(yīng)用領(lǐng)域：單片去膠清洗機是高潔凈度去膠清洗甩干設(shè)備, 具有去膠，清洗，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-12英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低，快速應(yīng)用生產(chǎn)等優(yōu)點。1.2名稱：單片去膠清洗機1.3型號：QSG-300二、主要結(jié)構(gòu)特征單片去膠清洗機主要伺服電機，PL
1.2名稱：單片去膠清洗機
1.3型號：QSG-300
單片去膠清洗機主要伺服電機，PLC控制器，人機界面，高潔凈閥門，PFA管，氮氣加熱器，防腐蝕外殼，以及甩干頭等部分組成。
2.1材質(zhì)：進口PP板，能夠滿足潔凈室工作環(huán)境。
2.2專用伺服電機，可實現(xiàn)每分鐘10-5000轉(zhuǎn)，低速均勻去膠，清洗，高速離心甩干。
2.3工業(yè)PLC控制器和人機界面，穩(wěn)定可靠控制各個部件，直觀可視化操作模式。
2.4甩干頭詳情 可根據(jù)客戶需要定制適用不同規(guī)格尺寸的甩干頭
三、主要技術(shù)參數(shù)
項目 | 主要性能指標和參數(shù) |
加工尺寸 | 2-12英寸 |
單次去膠數(shù)量 | 1片 |
工位數(shù)量（個） | 1 |
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN | 10-5000 |
藥液 | 1-4路可定制 |
藥液類型 | BOE/丙酮/硫酸/雙氧水/氨水/鹽酸等 |
藥液流量 | 流量可調(diào)節(jié)/可監(jiān)控 |
藥液噴嘴 | 扇形/錐形/圓柱形 |
藥液槽 | 1-4個可定制 |
藥液加熱 | 可定制 |
沖水功能 | 有 |
二流體噴嘴 | 可定制 |
氮氣吹干功能 | 有 |
氮氣加熱方式 | 電加熱器（選配） |
控制系統(tǒng) | PLC可編程控制器 |
顯示 | 7寸觸摸屏 |
電源 | 220V |
整機功率 | 2KW |
外形尺寸（深*寬*高）mm | 長450mm*寬450mm*高535mm |
